Технологические устройства
Наша команда занимается разработкой и изготовлением технологических устройств под индивидуальные задачи заказчика.
и импульсные дуговые испарители
На рисунке представлена схема дугового источника:
Принцип работы дугового источника основан на
На рисунке представлена схема ионного источника: 1 – охлаждаемый анод, 2 – магнитный корпус (катод), 3 – магнитная система, 4 – газовый трубопровод
Принцип работы ионного источника основан на формировании плазмы за счет ионизации рабочего газа в скрещенных электрическом и магнитном полях. Разряд образуется при подаче рабочего газа и напряжения питания в области, ограниченной двумя магнитными полюсами катода и анода.
Рабочий газ подается непосредственно внутрь корпуса ионного источника через газовый трубопровод. При подаче положительного потенциала на анод, возникает разряд между электродами. Ионы газа ускоряются в межэлектродном промежутке, образуя ионный поток на подложку.
Могут эксплуатироваться как в составе установок вакуумного напыления, так и в научных исследованиях вакуумных разрядов.
На рисунке представлен принцип действия магнетронной распылительной системы. Основными элементами такой системы являются магнитная система, анод, мишень-катод, рабочий газ – аргон.
Силовые линии магнитного поля запираются между полюсами магнитной системы. Поверхность мишень, расположенная между местами входа-выхода линий магнитного поля, подвергается интенсивному распылению в виде замкнутого трека, определяемого формой полюсов магнитной системы.
Электроны под действием ионной бомбардировки вырываются с поверхности катода. Они начинают совершать сложное циклоидальное движение у поверхности мишени, захватываясь и удерживаясь магнитным полем. Электроны под действием магнитного поля, возвращаясь на катод, который их отталкивает, находятся в ловушке. Внутри этой ловушки они циклируют пока не произойдет несколько столкновений с атомами газа, и электроны не потеряют энергию, полученную от электрического поля.